在封裝工藝之中,芯片貼裝(Die Attach)是其中尤為重要的一個工藝程序,這個工藝程序的主要目的是將單顆芯片從已經(jīng)切割好的wafer上抓取下來,并安置在基板對應(yīng)的die flag上,最后就能使用銀膠(epoxy)把芯片和基板粘接起來。 這里的主要過程可以細分為三步:點膠(Dispense);取芯片(Pick up);貼片(Placement)

點膠.png

1. 點膠(Dispense)

在點膠的步驟中,主要會用到銀膠,其中銀膠的主要成份是環(huán)氧樹脂、銀粉和少量添加劑,在這當中的環(huán)氧樹脂和添加劑主要起粘結(jié)作用,而銀粉則會起導電導熱作用。 實際需要使用時,成品銀膠會被裝在針筒注射器中,并于零下40℃的低溫中保存防止變性。使用前會將銀膠取出回溫,并在離心攪拌機中攪拌均勻,擠出其中的氣泡。在正式點膠時,有三種點膠模式:分別是戳?。⊿tamping)、網(wǎng)?。≒rinting)和點膠(Dispensing) 

2. 取芯片(Pick up)

當切割后的Wafer被安裝在固晶機的Air Bearing Table上,取芯片時,Ejector Pin就會在wafer下方將芯片頂起,使之便于脫離tape,同時Pick up head從上方吸起芯片。

芯片.png

3. 貼片(Placement)

當基板被傳輸?shù)焦叹C的貼片平臺(Die bond table)上時,平臺會被加熱到120℃,這里起到的作用是防止基板吸收濕氣,使芯片貼裝后預固化。在點膠之后,已抓取芯片的Pick up head運動到基板上方是,會以一定的壓力將芯片壓貼在點膠的die flag上。而完成貼片的基板則被傳輸?shù)交搴?Magazine)中,流入下一工序。常用的Die Attach設(shè)備有ESEC、ASM、Datacon等。

4.(銀膠烘烤)的步驟 

最后還會有一個確保處理產(chǎn)品質(zhì)量的步驟,即Epoxy Cure(銀膠烘烤),貼片后的基板會裝回基板盒,放進熱風循環(huán)烤箱,在175℃的溫度下烘烤60~120分鐘,使膠水中的溶劑揮發(fā),膠水完全固化,芯片牢貼在基板上。此時的烤箱內(nèi)還充滿氮氣,能起到防止氧化的作用。

膠水.png

昆山普樂斯電子14年專注于等離子表面處理工藝研究,專業(yè)的等離子清洗機設(shè)備生產(chǎn)廠家,在等離子清洗機、大氣低溫等離子表面處理系統(tǒng)、大氣常壓等離子清洗機設(shè)備、真空等離子清洗機等等設(shè)備都有多年生產(chǎn)經(jīng)驗;如果你有等離子表面處理的需求,歡迎聯(lián)系普樂斯,在線客服或者撥打全國服務(wù)熱線400-816-9009,普樂斯隨時為你服務(wù)哦!