真空等離子表面處理機大家現(xiàn)在也比較熟悉了，但在操作的過程中有時候會遇到故障或者機器報警的問題，不知道如何處理！今天小編給大家羅列出可能會遇到的問題，希望能幫到大家！ 

1. 真空等離子表面處理機出現(xiàn)泵熱過載保護

當真空等離子表面處理機出現(xiàn)真空泵熱過載保護時，應先檢查系統(tǒng)的參數(shù)是否存在問題，當設(shè)備突然斷電時，系統(tǒng)參數(shù)會清零，導致設(shè)備出現(xiàn)此類的報警情況。若參數(shù)無變化時，就需要確認熱繼電器是否自動保護，按下復位鍵，啟動真空等離子處理系統(tǒng)的真空發(fā)生系統(tǒng)。若無自動保護，再檢查電氣線路是否有斷路或短路的情況，如若以上均無異常，再檢查真空泵情況。

2. 真空等離子表面處理機顯示放空氣體壓力過低

在出現(xiàn)此種故障時，可能是氣體未開啟和氣體已耗盡，需要檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或者短路。

3. 真空等離子表面處理機真空泵倒計時故障

請檢查真空泵抽空能力，故障排除后再點擊復位鍵，材料滲氣和真空門未關(guān)到位都會影響真空泵抽空能力，此外還需要逐級檢查離子真空處理系統(tǒng)中的各連接點，看看是否有管道連接不良或損壞。

4. CDA壓力過低報警

此報警也叫破空氣體壓力過低報警，是因為壓縮空氣的氣壓不足導致的，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動擋板閥的等離子設(shè)備。出現(xiàn)此報警時需檢查CDA是否正常供氣到設(shè)備端。確認供氣壓力有無過高或者過低，減壓表的報警值設(shè)定是否正確，此外再對電氣線路進行檢查。  

5. 真空計故障報警

真空計故障報警可能是真空計損壞造成的，需要檢查真空計的控制線路是否有斷路或者短路的情況。

6. 真空等離子處理系統(tǒng)的急停未復位或已按下，需打開急停開關(guān)

此時需檢查急停是否被按下，如沒有此情況，需檢查急停線路。

了解了這些，相信大家在設(shè)備的操作過程中都會游刃有余的，如果您還有更多的疑問歡迎隨時聯(lián)系我們哦！

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